层叠型压电陶瓷及其制造方法、压电元件和压电振动装置与流程

层叠型压电陶瓷及其制造方法、压电元件和压电振动装置与流程

背景技术：

关于压电陶瓷，利用由压电陶瓷形成的压电元件通过机械性位移而产生电荷、或者通过电极间的电位差而产生机械性位移的性质，被广泛地用于传感器、致动器等中。

作为构成压电元件的压电陶瓷的组成，广泛使用钛酸锆酸铅(pb(zr,ti)o3、pzt)及其固溶体。pzt类的压电陶瓷具有以下优点：由于具有较高的居里温度，因此即使在高温环境下也能够使用，并且由于具有较高的机电耦合系数，因此能够对电能与机械能高效地进行转换。另外，通过选择适当的组成，能够以低于1000℃的温度进行烧制，因此具有能够降低压电元件的制造成本的优点。尤其是，在层叠型压电陶瓷中，与压电陶瓷同时烧制的内部电极中能够使用减少了铂或钯等高价格材料的含量的低熔点材料，产生大幅降低成本的效果。但是，pzt类的压电陶瓷含有作为有害物质的铅，这被视为问题，希望使用不含铅的压电陶瓷代替pzt类的压电陶瓷。

至今为止，作为不含铅的压电陶瓷的组成，公开有碱金属铌酸盐((li,na,k)nbo3)类、钛酸铋钠((bi0.5na0.5)tio3、bnt)类、铋层状化合物类和钨青铜类等各种压电陶瓷。其中，碱金属铌酸盐类的压电陶瓷由于其居里温度高，机电耦合系数比较大，因此作为代替pzt类的压电陶瓷而受到关注.

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