描述：双光束激光干涉仪专门用于压电薄膜的蝴蝶曲线和纵向压电系数d33的测试。
这一台适合于从小尺寸薄膜到8英寸晶圆表征的双光束激光干涉仪。
半自动的系统用于8“晶圆上的MEMS器件的压电性和电性相关性能的测试。
大量样品测试的重复精度可达2%以上。

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